特性
- 可重新密封的金属对金属外部密封结构（无环）
- 电抛光润湿零件
- 洁净室组装
- 多气/多范围功能
- Analog and digital I/O, with optionally integrated interface to DeviceNetTM, Profibus-DP®, Modbus-RTU or FLOW-BUS
- 超稳定调零（不需要自动调零电路）
- 高精度和重复性
- 用电解法抛光接触液体的部件
- 超稳定零(无需自动零电路)
Bronkhorst高科技公司的金属密封气体质量流量计和控制器的特点是其独特的专利金属密封结构，具有优异的再密封能力。此外，它们还具有高表面质量，因此特别适合于满足半导体工业要求以及其他高纯度气体应用。质量流量计和控制器的底座有1/4端面密封外螺纹（VCR）或下端口工艺连接件，最低量程0.1…5百万牛顿/分钟。最大量程0.6。。。100 ln\/min.，现在的仪器配备有数字pc板，提供高精度、优异的温度稳定性和快速响应（t98稳定时间降至500毫秒）。最新的EL-FLOW®设计具有多气体/多量程功能，为（OEM）客户提供最佳的灵活性和工艺效率。为方便客户，Bronkhorst提供免费且易于使用的配置软件。，功能：
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量介质 | Gas |
| 标准和合规性 | RoHS Compliant; WEEE |
| 产品类别 | Flow Controllers |
| 类型 | DC Voltage Inputs |
| 控制信号输出 | Analog Voltage; Current Loop Output; Serial / Digital; Other; RS232 |
| 精度 | 1.0 ±% FS |
| 通信接口 | DeviceNet, Profibus-DP, Modbus, EtherCAT, Profinet or FLOW-BUS protocol |
