设计
特性
- 数字和模拟模式工作
- 可编程的流程配置
- 可用流量范围从0到10 sccm到0到100 slpm
- 最大压力1000 psig（70 bar）
- 多滴能力高达256单位
- 存储多达10种气体的校准数据
- 累加器显示气体总量
- 高、低气体流量报警限值
- 最多256种气体的转换系数
- 自动调整功能，以最佳控制响应
- 自我诊断测试
- 可编程流量配置
- 最大压力为1000psig(70巴)
- 多支路容量高达256个单元
- 累加器指示总气量
- 转换系数可达256种气体
- 最佳控制响应的自动调谐功能
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 类型 | Serial / Digital Input |
| 产品类别 | Flow Controllers |
| 用户接口 | Switches; Computer Programmable |
| 控制输出数量 | 1 outputs |
| 精度 | 2.0 ±% FS |
| 特征 | Rate Indication / Control; Totalizing (Length or Roll Diameter) Indication/ Control |
| 控制技术 | Linear Control;PID Control |
| 输入数量 | 1 inputs |
| 控制信号输出 | Analog Voltage ; Current Loop |
| 测量介质 | Gas |
| 外观形式 | Stand-Alone |
