特性

• 高泄漏完整性(小于10-11 pa)。m3/s (10-10 atm.cc/s) he)
• Wide flow range (0.003 – 100 slpm)
• 高纯度var 316l不锈钢
• particulate-free
• 氦检漏口
• 常闭阀（常开阀可选）
• 电动阀超驰控制
• 低命令流截止
• ttl兼容阀门关闭功能
• 稳定、成熟的产品平台
• 高流动能力，可达100 lpm (n2当量)
• 全金属流道提高气体纯度，减少泄漏
• 易于安装和服务模拟输入/输出
• Optical Fiber Manufacturing – MCVD, OVD, AVD
• 水汽流量控制
• 高泄漏完整性（小于10-11 Pa.m3/s（10-10自动取款机)他）
• 高纯var 316l不锈钢
• 低指令流量切断
• 水汽流动控制

Brooks Instrument的5850EMH系列高温金属密封质量流量控制器在高温气体测量和控制方面提供了最先进的性能，它将金属密封件的卓越泄漏完整性与多种选择相结合，允许最大程度的应用灵活性。5850EMH系列的核心是高度稳定的传感器，它提供与流量成线性关系的电输出信号。此信号用于指示、记录和/或控制目的，无需自动调零电路。，特性，优点，应用

技术参数