特性

• 长期零稳定性<0.2%满规模每年
• <3秒指令变化的稳定时间小于3秒，过冲/欠冲可忽略不计
• Wide flow range – from 3 sccm up to 30,000 slpm
• 高压额定值-高达1500psi
• Optional enhanced process internal finish - 5µ inch Ra avg
• 可拆卸式流量传感器
• 对安装姿态不敏感
• 机械和电气兼容其他质量流量控制器
• TTL兼容的阀关闭和净化功能
• 全金属流道提高气体纯度，减少泄漏
• 在广泛的工艺和应用范围内证明了长期的稳定性和准确性
• 性能可靠，投资回报率高
• 可拆卸式流量传感器无需对气体压力进行连续监测和重新调整
• 易于安装和维修，仅使用模拟输入/输出
• 光纤
• 领导/金属
• 半导体
• 太阳能
• 与其他质量流量控制器在机械和电气上兼容
• ttl兼容阀门关闭和清洗功能
• 在广泛的工艺和应用范围内长期稳定和准确
• 可拆卸流量传感器无需连续监测和调整气体压力

5850EM系列金属密封质量流量控制器测量和控制超清洁环境中的高压气体流量，其稳定性基于广泛使用的5850E&i系列MFC的性能。其金属密封结构和电抛光的湿表面确保了卓越的流动完整性，并通过消除持续监测和调整气体压力以提供稳定气流的需要，帮助提高整体工艺效率。，特点，优点，应用

技术参数