产品概述
FMA5400/FMA5500系列是OMEGA Engineering, Inc.推出的电子气体质量流量控制器，适用于从0-10 SCCM到100 SLM范围内的多种气体流量控制。该系列控制器采用热传导测量原理，通过加热管测量分子气体流量，提供直接的质量流量测量，无需对气体温度或压力进行补偿（在规定范围内）。FMA5400系列为无集成显示版本，配备0-5 Vdc和4-20 mA输出，适用于远程监控；FMA5500系列则集成3 1/2数字显示，便于现场读取。控制器内置常闭电磁阀，可保持稳定流量，不受入口或出口压力变化影响。
核心特点/优势
- 热传导测量技术，无需温度/压力补偿
- 提供0-5 Vdc和4-20 mA双输出信号，支持远程监控
- 集成3 1/2数字显示（FMA5500），可倾斜90度以上，便于观察
- 支持本地电位计控制和远程模拟信号控制
- 内置常闭电磁阀，确保流量稳定性
- 提供铝/黄铜和316不锈钢两种结构，适应不同腐蚀环境
- 具备反极性保护和可复位保险丝，提高系统安全性
应用领域
- 工业气体控制
- 实验室气体分析
- 半导体制造
- 化学过程控制
- 环境监测
选型指南/使用建议
根据是否需要集成显示选择FMA5400或FMA5500系列。对于腐蚀性气体应用，建议选择316不锈钢结构。控制器需+12-15 Vdc电源（800 mA），可选配FMA545PW壁挂式电源。FMA545C可提供15针D连接器和8英尺屏蔽电缆，便于信号和电源连接。安装时应确保良好通风，并避免高温或高湿环境。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 特征 | Rate Indication / Control |
| 控制信号输出 | Analog Voltage; Current Loop Output |
| 外观形式 | Stand-Alone |
| 标准和合规性 | RoHS; CE, NIST |
| 电源要求 | +12-15 Vdc @ 800 mA |
| 类型 | DC Voltage Inputs |
| 结构材料 | 铝/黄铜, 316不锈钢 |
| 产品类别 | 流量控制器 |
| 控制方式 | 本地电位计控制 / 远程模拟信号控制 |
| 输出信号 | 0-5 Vdc, 4-20 mA |
| 内置功能 | 常闭电磁阀，反极性保护，可复位保险丝 |
| 精度 | 1.5 ±% FS |
| 显示类型 | 3 1/2数字显示（FMA5500） |
| 控制技术 | Limit / Set Point Control |
| 测量介质 | Gas |
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