FMA-2600A和FVL-2600A系列质量和体积流量控制器使用层流流场中的压差原理来确定和控制质量流量。流量计内的层流元件（LFE）迫使气体进入层流（流线型）流。在这个区域内，Poiseuille方程表明体积流量与压降呈线性关系。压差传感器用于测量沿LFE固定距离的压降。这与气体的粘度一起用于精确地确定体积流量。独立的绝对温度和压力传感器被整合在一起，并将体积流量校正到一组标准条件下。此标准化流量通常称为质量流量，以标准立方英尺/分钟（SCFM）或标准升/分钟（SLM）等单位报告。控制器使用与流量体耦合的真实比例阀，使用积分PID回路控制器控制流量。标准装置包括0至5 V输出（4至20 mA可选）和RS232通信。气体选择功能和设定值可通过前键盘或通过RS232通信进行调整。体积流量、质量流量、绝对压力和温度都可以通过RS232接口查看或记录。在同一个串行连接上，也可以在46 m（150’）的距离上多支路26个装置。

技术参数