设备制造商正在寻找紧凑的解决方案，以监测或控制其系统中的气体流量或压力。以前，传统的质量流量和压力仪表和控制器需要1.5英寸的占地面积，例如NeSSITM系统中规定的。现在，Bronkhorst High Tech与TNO-TPD（荷兰领先的应用物理研究所）密切合作，开发了IQ+FLOW®质量流量传感器。由于采用了微固态技术（MEMS），Bronkhorst能够将占地尺寸减半至0.75 \，从而实现了超紧凑的流量和压力控制器。，高内在质量，特色…，客户专用设计，基于IQ+flow®系列的微系统技术，Bronkhorst高科技公司还提供了在紧凑型歧管上组合功能模块的可能性。参见IQ+FLOW manifold solutions，Analytical applications:，基于占地面积为0.75\的超紧凑模块的分析应用示例包括：

技术参数