SEC-8000F\/D\/E系列可在高温环境下工作，从15℃到120℃，用于各种任务，包括半导体和化合物半导体加工。，请在此处查看我们的MFC比较图表。
特性
- Equipped with digital facility: high accuracy- ±1.0% S.P.
- 高速响应
- 超净
- RoHS符合性
- 超干净
- rohs符合性
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 安装 | In-line |
| 仪表形式 | Mass Flow Meter |
| 测量技术 | Thermal |
| 终端配件 | VCO® / VCR® |
| 接口选项 | Serial / Digital; Network / Fieldbus |
| 工作温度 | 59 to 248 F (15 to 120 C) |
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
| 工作压力 | 43.51 psi (30.62 m H2O) |
| 介质类型 | Gas |
| 质量流量 | 1.38E-5 to 0.4129 lbs/min (3.75E-7 to 0.0112 metric tons/hr) |
| 管道直径 | 0.25 to 0.75 inch (6.35 to 19.05 mm) |
| 特征 | Controller Functions |
