这是HORIBA最畅销的数字质量流量控制器模型。它具有多量程/多气体功能，使用户能够在现场快速方便地改变气体类型或全尺寸流量。高精度+/-1.0%S.P、压电致动器阀、高速响应和全金属材质，适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT®通信都可用。，请在此处查看我们的MFC比较图，质量流量控制器SEC-Z500X适用于各种应用以及半导体制造。阅读我们的案例研究，了解SEC-Z500X如何改善国家海洋和大气管理局的结果：案例研究
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
| 终端配件 | VCO® / VCR® |
| 质量流量 | 1.38E-6 to 1.38 lbs/min (3.75E-8 to 0.0375 metric tons/hr) |
| 接口选项 | Serial / Digital ; Network / Fieldbus |
| 工作温度 | 41 to 122 F (5 to 50 C) |
| 测量技术 | Thermal |
| 安装 | In-line |
| 介质类型 | Gas |
| 电气输出 | Analog Current |
| 特征 | Controller Functions |
| 仪表形式 | Mass Flow Meter |
| 管道直径 | 0.25 to 0.50 inch (6.35 to 12.7 mm) |
| 工作压力 | 43.51 psi (30.62 m H2O) |
