特性

• 压力不敏感性能 一个新的高性能压力不敏感功能提供了一个简化的供气系统
• 多量程、多气、多压解决方案 新的功能允许用户改变气体类型、全尺寸流量和供应压力范围
• g-life（积分限流器方程气体定律检查）自诊断功能 高级过程健康监控功能允许操作员进行自己的测试，通常在3秒钟或更短的时间内进行，以提高吞吐量
• 高精度 采用先进的三维调节技术，提高了工艺气体的流量精度
• 快速反应 响应：<0.8秒 可以实现精确、稳定的流量控制
• 动态范围 宽控制范围:0.2% f.s.到100% f.s.。
• g寿命(综合流量限制器方程的气体规律检查)自诊断函数 高级流程运行状况监视功能允许操作人员执行自己的测试，通常在三秒钟或更少的时间内完成，从而提高吞吐量

这种领先的压力不敏感质量流模块安装有压差检测和压电执行器阀。，标准D500提供的高水平性能确保其可用于一系列先进的半导体制造工艺；压力不敏感，多量程\/多气体\/多压力，G-LIFE（集成限流器方程气体定律检查）自诊断功能，高精度，快速响应，宽范围，全金属。，在这里查看我们的MFC比较图。，技术文章，基于压力的质量流量控制模块标准D507系列（1.7MB），摘要\最近随着半导体应用的增加设备据物联网介绍，最新的半导体工厂正致力于尽量减少设备的停机时间。因此，为了对半导体工具及其元件进行失效预检测，半导体工艺的管理参数不断增加，对其要求也越来越严格。为了满足要求的控制标准，要求质量流量控制模块具有高速通信和故障预检测功能，同时还要求具有流量精度和再现性、入口压力不敏感等性能。D507系列是在D500系列上排列的，以满足最近半导体厂严格的管理要求

技术参数