SFM5400质量流量计测量质量流量具有卓越的精度（误差<1%）、长期稳定性和可重复性，并覆盖了令人印象深刻的宽动态测量范围。SFM5400由金属制成，高度可配置。它有各种射流连接和各种接口，可测量50 sccm和200 slm之间的最大流量。传感器信号在芯片上直接转换为数字、完全校准和温度补偿信号。多个气体校准可以存储在一个设备上。此外，流量计还可以检查活性气体校准是否与实际存在的气体相匹配。SFM5400的多功能性使其成为工业和医疗应用的理想解决方案。，SFM5400质量流量计的卓越性能基于创新的CMOSens®技术，该技术在单个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件和模拟和数字处理电子元件。结合高质量的材料，其结果是一个持久稳定、极快和高精度的质量流量计。，SFM5400质量流量计是SFC5400质量流量控制器的无阀版本。SFC5400质量流量控制器具有与质量流量计相同的性能特点，并用于类似的应用中，两种产品可以理想地结合使用。

技术参数