SFM5400质量流量计测量质量流量具有卓越的精度（误差<1%）、长期稳定性和可重复性，并覆盖了令人印象深刻的宽动态测量范围。SFM5400由金属制成，高度可配置。它有各种射流连接和各种接口，可测量50 sccm和200 slm之间的最大流量。传感器信号在芯片上直接转换为数字、完全校准和温度补偿信号。多个气体校准可以存储在一个设备上。此外，流量计还可以检查活性气体校准是否与实际存在的气体相匹配。SFM5400的多功能性使其成为工业和医疗应用的理想解决方案。，SFM5400质量流量计的卓越性能基于创新的CMOSens®技术，该技术在单个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件和模拟和数字处理电子元件。结合高质量的材料，其结果是一个持久稳定、极快和高精度的质量流量计。，SFM5400质量流量计是SFC5400质量流量控制器的无阀版本。SFC5400质量流量控制器具有与质量流量计相同的性能特点，并用于类似的应用中，两种产品可以理想地结合使用。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 安装 | In-line |
| 工作压力 | 145 to 2103 psi (102 to 1480 m H2O) |
| 仪表形式 | Mass Flow Meter |
| 介质类型 | Gas |
| 接口选项 | Serial / Digital |
| 产品标准 | RoHS; WEEE Compliant |
| 工作温度 | 32 to 122 F (0 to 50 C) |
| 测量技术 | Thermal |
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
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