特性
- 低质量流量范围从0-30 sccm到0-1000 sccm
- 4毫秒的快速响应时间（可选）
- 压力额定值高达5巴（73磅/平方英寸）
- Accuracy of ±1.5%
- 输出包括线性模拟0.5 - 4.5v或数字rs232
- 尺寸62 x 52 x 12.8 mm3
- 压力额定值可达5bar (73psi)
- 输出包括线性模拟0.5-4.5v或数字rs232
FS4001质量流量传感器采用Siargo公司专有的MEMS流量传感器和封装技术制造。该传感器专门设计用于从0-30 sccm到0-1000 sccm的低流量。FS4001具有5 bar (73 psi)的高超压，可广泛应用于仪器仪表(如质谱)、泄漏检测、过程控制、气体流量计量和医疗应用。FS4001需要8-18 VDC的电源，并提供一个模拟(0.5到4.5 VDC)和\/或数字用户界面(RS232)。校准通常使用氮气进行，其额定压力为20C和101.325 kPa。可根据要求使用其他气体和条件进行校准。"，"获取质量流量产品和定价指南"，"特性
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 仪表形式 | Mass Flow Meter |
| 质量流量 | 0.0 to 0.0028 lbs/min (0.0 to 7.49E-5 metric tons/hr) |
| 精度 | 1.5 ±% |
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
| 工作压力 | 72.52 psi (51.04 m H2O) |
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