特性
- 数字和模拟模式运行
- 可编程的流程配置
- 可用流量范围从0到10 sccm到0到100 slpm
- 最大压力1000 psig（70 bar）
- 多支路容量高达256个单元
- 储存多达10种气体的校准数据
- 累加器显示气体总量
- 高、低气体流量报警限值
- 最多256种气体的转换系数
- 自动调整功能，以最佳控制响应
- 自我诊断测试
- 数字和模拟模式工作
- 可编程流量配置
- 最大压力为1000psig(70巴)
- 多滴能力高达256单位
- 存储多达10种气体的校准数据
- 累加器指示总气量
- 高、低气体流量的报警限制
- 转换系数可达256种气体
- 最佳控制响应的自动调谐功能
设计特点
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量技术 | Thermal |
| 审核认证 | CE, ISO 9001, UKAS Quality |
| 终端配件 | Compression; VCO® / VCR® (optional feature) |
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
| 管道直径 | 0.12 to 0.38 inch (3.17 to 9.52 mm) |
| 接口选项 | Serial / Digital |
| 安装 | In-line |
| 仪表形式 | Mass Flow Meter; Volumetric Flow Meter |
| 特征 | Controller; Programmable; Recorder / Totalizer Functions |
| 电气输出 | Analog Current; Voltage |
| 介质类型 | Gas |
| 气体体积流量 | 0.0 to 0.0177 SCFM (0.0 to 0.0300 m³/hr) |
| 工作温度 | 41 to 122 F (5 to 50 C) |
| 工作压力 | 0.0 to 500 psi (0.0 to 352 m H2O) |
| 前面板接口 | Computer Controllable |
