FS5000系列质量流量传感器是为通用流量监测和控制应用而设计的。传感器直接测量设计通道中的质量流量，并具有跟踪流量检测功能。它能检测到的最低流量为20 nL\/min。这些传感器可以很容易地应用于歧管流量组件、泄漏检测、HVAC控制、洁净室空气流量或氮气冲洗监测和控制、环境设备（如空气采样器）、分析仪器（如GC光谱仪）等。可以配置nFS5001传感器进行测量流量满量程从1到1000 sccm（1 SLPM）。有了全系列可定制的适配器，它可以在许多应用程序中即插即用。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 精度 | 1.5 ±% |
| 接口选项 | Serial / Digital |
| 工作温度 | -4 to 158 F (-20 to 70 C) |
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
| 安装 | In-line |
| 介质类型 | Gas |
| 仪表形式 | Mass Flow Meter |
