MF4000系列质量流量计是为直径不大于8mm的管道中气体流量测量的应用而设计的。该产品可用于测量0-0.5 SLPM到0-30SLPM的任何清洁气体，具体取决于产品配置。大容量应用程序也可以进行定制。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 工作压力 | 145 psi (102 m H2O) |
| 安装 | In-line |
| 前面板接口 | Digital Front Panel |
| 精度 | 1.5 ±% |
| 终端配件 | In-line Threaded |
| 电气输出 | Analog Voltage |
| 测量技术 | MEMS Flow Sensor |
| 仪表形式 | Mass Flow Meter |
| 介质类型 | Gas |
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
| 管道直径 | 0.12 inch (3 mm) |
| 工作温度 | 14 to 131 F (-10 to 55 C) |
| 接口选项 | Serial / Digital |
| 显示 | Digital |
