MF5000系列质量流量计是专为小型管道流量监测和控制而设计的。该系列可测量直径小于0.5 mm，但不超过19 mm的气体流量。由于MEMS传感器的自流量调节特性，与传统的旁路热式质量流量计相比，该流量计具有极低的压力损失。根据要求，仪表的精度通常为（1.5+0.2FS%）或更好。仪表可在-20至60°C的环境下工作，压力高达2.5 MPa。应用范围包括半导体气体过程监控、医院氧气监测仪等
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 安装 | In-line |
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
| 工作压力 | 435 psi (306 m H2O) |
| 测量技术 | MEMS Flow Sensor |
| 终端配件 | In-line Threaded |
| 精度 | 1.5 ±% |
| 接口选项 | Serial / Digital |
| 管道直径 | 0.47 inch (12 mm) |
| 介质类型 | Gas |
| 工作温度 | -4 to 149 F (-20 to 65 C) |
| 仪表形式 | Mass Flow Meter |
| 显示 | Digital |
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