产品概述
EVCD10光谱共焦位移传感器是基于色散共聚焦原理的高精度测量设备，通过高品质光学镜头在不同距离上聚焦白光，实现对位移或厚度的精确测量。该传感器具有超高精度（±0.02% F.S.）和分辨率（高达2纳米），适用于多种复杂表面的测量，包括透明物体、镜面物体和亮金属。
控制器通过专用光纤与测量头连接，接入24V DC电源，并通过以太网接口输出数据。其编码器接口可外接3路增量式单端光电编码器信号，实现位置数据与测量数据的精确对应。传感器支持与外部触发信号同步，也可输出触发信号同步其他设备。
EVCD10探头为无源设计，无热源和移动部件，光缆最长可达10米。其大角度探头LHP4-Fc支持±45°测量，适用于特定角度和转角的测量。
核心特点/优势
- 超高精度（±0.02% F.S.）和分辨率（高达2纳米）
- 最小光斑尺寸为2微米，确保微小细节不被遗漏
- 支持透明物体、镜面物体和亮金属的测量
- 支持厚度测量，提高测量效率
- 无源探头设计，无热源和移动部件，稳定性高
- 支持3路增量式单端光电编码器信号，实现位置与测量数据一一对应
- 支持输入/输出触发信号，便于与其他设备同步
- 大角度探头LHP4-Fc，支持±45°测量
- 集成创新色谱共焦技术，突破传统LED光源亮度分布不均的限制
- 半峰值宽度比传统类型小1/2以上，采样精度是传统类型的1.33倍
应用领域
- 自动化测量系统
- 精密制造与加工
- 半导体晶圆厚度检测
- 光学测量与表面形貌分析
- 玻璃或半透明物体厚度测量
选型指南/使用建议
推荐配置包括DC 24V 3A电源、以太网电缆和IO触发线。使用时应确保环境稳定，避免强光干扰。光缆最长可定制至10米，适用于远距离测量场景。建议在自动化系统中使用时，结合外部编码器和触发信号，以实现更精确的数据同步。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量精度 | ±0.02% F.S. |
| 分辨率 | 2 纳米 |
| 同步接口 | 3路增量式单端光电编码器信号 |
| 测量对象 | 透明物体、镜面物体、亮金属 |
| 厚度测量能力 | 支持 |
| 最小光斑尺寸 | 2 微米 |
| 测量角度范围 | ±45° |
| 供电电压 | 24V DC |
| 最大光缆长度 | 10m |
| 测量模式 | 光谱共焦 |
| 触发功能 | 支持输入/输出触发信号 |
| 通信接口 | 以太网 |
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