产品概述

英国真尚有的 ZM106 系列边缘传感器是专为非接触式测量和监控各种物体边缘位置而设计的高性能传感器。该传感器采用独特的“阴影”原理，由控制器和测量探头组成，其中测量探头为发射器和接收器模块的组合。一个控制器可支持两套测量探头，便于同时测量两个位置的边缘。ZM106 系列具有 ±20um 的高精度、1um 的可重复性以及 7mm 的测量范围，适用于胶带、电路板、基板等多种物体的边缘检测。

核心特点/优势

• 采用“阴影”原理，实现非接触式测量，避免对被测物体造成干扰
• 控制器支持两套测量探头，实现双位置边缘测量，提升检测效率
• 测量精度高达 ±20um，可重复性达 1um，确保测量结果的稳定性与可靠性
• 测量范围为 7mm，适用于多种边缘检测场景
• 控制器支持直接数字显示，无需额外显示设备，简化系统配置
• 体积小巧、安装方便，适用于空间受限的工业环境

应用领域

• 硅片制造：用于检测硅片边缘的划痕、裂纹或污染等缺陷，确保产品质量
• 光刻、蚀刻、封装和装配：在半导体制造的多个阶段中，用于边缘位置的高精度监控
• 电路板检测：用于检测电路板边缘的对齐和完整性
• 基板检测：用于检测基板边缘的精度和一致性
• 胶带边缘检测：用于检测胶带边缘的对齐和位置

技术参数