这些高性能硅微机械线性加速度计和倾角计由一个传感器元件和一个封装在5x5x1.2mm双平面无铅（DFN）中的ASIC组成。传感器元件由单晶硅制成，采用专有的深反应离子刻蚀（DRIE）工艺，并通过晶圆级的密封硅盖保护其免受环境影响。KXR94系列的设计提供了高信噪比和卓越的超温性能。这些传感器可接受2.5V和5.25V之间的电源电压。灵敏度在工厂可编程，允许定制需要从±1.0g到±5.0g范围的应用。传感器带宽可由用户定义。传感器元件根据差动电容原理工作。加速度引起硅结构的位移，从而引起电容的变化。ASIC使用标准CMOS制造工艺，检测电容变化并将其转换为与加速度成比例的模拟输出电压。该电压由板载A/D转换器数字化，并通过串行外围接口（SPI）进行访问。传感元件的设计利用共模抵消来减少过程变化和环境压力引起的误差
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品类别 | Seismic Instruments |
| 加速度范围 | 2 g |
| 产品形式 | Linear Accelerometer; Sensor / Transducer |
| 特征 | Environmentally / Hermetically Sealed; Self Test / Self Calibrating |
| 频率范围 | 800 Hz |
| 最大冲击 | 5000 g |
| 测量轴数 | Single; Biaxial; Triaxial |
| 工作温度 | -40 to 185 F (-40 to 85 C) |
