产品概述
英国真尚有的 ZM106 系列边缘传感器采用了先进的 "阴影" 原理技术，是成本效益型边缘检测的领先选择。该传感器由控制器和测量探头两部分组成，后者包括发射器和接收器两个模块。这种双重设置允许一个控制器配备两套测量探头，简化了在两个不同位置测量边缘的过程。
ZM106 系列边缘传感器专为非接触式测量和监控而设计，可精确检测胶带、电路板和基板等各种物体的边缘位置。其性能指标包括 ±20um 的高精度、1um 的重复性和 7mm 的测量范围。
在半导体行业中，ZM106 系列边缘传感器被广泛应用于晶圆制造、光刻、蚀刻、封装和组装等关键环节，以确保设备的可靠性和性能。
核心特点/优势
- 采用先进的阴影原理技术，实现高精度边缘检测
- 非接触式测量，避免对被测物体造成损伤
- 测量精度高达 ±20um，重复性达 1um
- 控制器支持直接数字显示，无需额外显示设备
- 测量探头小巧轻便，安装简便，发射器与接收器最大间距可达 30mm
- 一个控制器可支持两套测量探头，提升系统集成效率
应用领域
- 晶圆制造：用于检测硅晶圆边缘的划痕、裂纹或污染等缺陷
- 光刻：确保光刻过程中边缘对准精度
- 蚀刻：监控蚀刻边缘的一致性
- 封装与组装：检测封装边缘的对齐和完整性
- 电路板检测：用于检测电路板边缘位置
- 基板检测：适用于各类基板边缘的高精度测量
选型指南/使用建议
ZM106 系列边缘传感器适用于需要高精度、非接触式边缘检测的工业场景。建议根据实际测量对象的尺寸和边缘特征选择合适的测量范围和精度配置。安装时应确保发射器与接收器之间的距离不超过 30mm，并保持测量环境的清洁和稳定。控制器支持直接数字显示，无需额外显示设备，适合集成到自动化检测系统中。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量方式 | 非接触式 |
| 测量精度 | ±20um |
| 测量范围 | 7mm |
| 重复性 | 1um |
| 发射器与接收器最大间距 | 30mm |
| 控制器显示方式 | 直接数字显示 |
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