特性

• 各种质量流量范围从0-2 slpm到0-50 slpm
• 快速响应时间为10毫秒
• 压力额定值高达5巴（73磅/平方英寸）
• 可更换机械连接器，方便安装在不同的应用场合。
• 专为医疗设备设计的
• 小型尺寸为70x44 x25毫米
• Accuracy of ±1.5% + 0.2 FS
• 输出包括线性模拟0.5-4.5v，数字rs232或rs485
• 质量流量范围从0-2 SLPM到0-50 SLPM
• 10毫秒的快速响应时间
• 压力额定值可达5bar (73psi)
• 小尺寸70 x 44 x 25 mm
• 输出包括线性模拟0.5 - 4.5v，数字rs232或rs485

FS4000质量流量传感器采用Siargo公司专有的MEMS流量传感器和封装技术制造。产品的可靠性和卓越的性能在目标应用。传感器安装在3mm和8mm的管道中，最大流量分别为5slpm和50slpm。由于Siargo独特的MEMS传感器芯片结构、特殊的封装技术和坚固的传感器外壳，最大超压额定值可达5bar (73psi)。FS4003的流道直径为3毫米，采用低压损失配置，测量气流可达5 SLPM。应用包括泄漏检测、粒子计数器和分析仪器。FS4008被包装在一个直径为8毫米的流道中，测量的气流可达50 SLPM。可用于气体流量测量和控制设备。应用范围包括麻醉设备的电子流量计，洁净室气体流量监测，空气采样器和气体分析仪。

技术参数