产品概述
英国真尚有ZNX40X 亚纳米电容式位移传感器是最先进的非接触式精密位置传感器,专为需要高线性度和稳定性的短距离位移测量而设计。该传感器具有低噪音、高稳定性和超高精度的特点,非常适合 ±5um-2mm 的短距离非接触测量。传感器的测量范围从 ±10um 到 ±1000um 不等,具体取决于探头的选择。传感器在满刻度范围内的精度优于 0.025%,具体取决于探头型号和特定工作范围。
该传感器标准带宽为 1kHz,支持 10Hz、100Hz 和 10kHz 跳线选项。它可通过单探头输入接受 M 系列探头和 N 系列无源探头。该传感器体积小巧,重量仅为 0.5 千克,便于集成到各种应用中。
ZNX40X 传感器配备用户可调的数字输出,用于检测超量程和测量限制,使其在多单元应用中非常灵活。电源要求为 90-240 VAC,使用标准通用低噪音电源。可在 0-95% 的湿度范围(非冷凝)和 5 ℃ -50 ℃ 的温度范围内高效运行。
核心特点/优势
- 亚纳米级分辨率,测量精度和准确度极高
- 出色的温度稳定性,适用于不同环境下的测量
- 支持多种探头配置,满足不同测量需求
- 非接触式测量,确保探头与目标之间保持安全间隙
- 支持探头直接重新校准,快速适应不同测量环境
- 轻便设计,便于集成和移动使用
- 提供多种带宽选项,满足不同频率响应需求
应用领域
- 精密位移测量
- 半导体制造中的纳米级检测
- 光学系统校准
- 纳米级材料检测
- 高精度机械加工
- 自动化检测设备
选型指南/使用建议
根据测量范围选择合适的探头型号(M 系列或 N 系列),确保测量精度和稳定性。建议在 5 ℃ -50 ℃ 和 0-95% 湿度(非冷凝)环境下使用。电源需使用标准通用低噪音电源,以确保测量信号的纯净度。传感器支持多种带宽设置,可根据实际测量频率需求进行选择。在集成应用中,可利用其标准模拟输出连接 A/D 板,便于数据采集和处理。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 输出类型 | 标准模拟输出 |
| 带宽 | 1kHz(可选 10Hz、100Hz、10kHz) |
| 探头测量范围 | 20um - 2mm |
| 校准方式 | 支持探头直接重新校准 |
| 测量精度 | 优于 0.025% |
| 分辨率 | 亚纳米级 |
| 重量 | 0.5 千克 |
| 体积 | 18cm × 11cm × 4cm |
| 工作湿度范围 | 0 - 95%(非冷凝) |
| 测量范围 | ±10um - ±1000um |
| 工作温度范围 | 5 ℃ - 50 ℃ |
| 探头类型 | M 系列探头、N 系列无源探头 |
| 电源要求 | 90-240 VAC |
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