产品概述

英国真尚有ZNX 超精密电容式位移传感器是一种基于电容式微测原理的非接触式位置测量系统。该传感器由两块传感器板（目标和探头）构成一个平行板电容器，通过测量板间距离实现高精度位移检测。其分辨率可低至7皮米（有效值），测量范围从20μm到1250μm，频率响应高达5kHz，线性度精确至0.02%。传感器采用高热稳定结构，可选材料包括超硬钢、微晶玻璃和陶瓷，以最大限度减少位置漂移。控制器CC-A-4101为单通道独立电子模块，输出与传感器间隙成比例的模拟电压，适用于需要纳米级定位精度的系统升级。

核心特点/优势

• 分辨率高达7皮米（有效值），小于0.1nm，实现超精密测量
• 线性度达0.02%，确保测量高精度
• 频率响应高达5kHz，适用于动态测量场景
• 非接触式测量，避免机械磨损，提高系统寿命
• 支持真空、低温、强辐射等极端环境下的稳定运行
• 结构材料可选，包括超硬钢、微晶玻璃和陶瓷，适应不同工况
• 控制器CC-A-4101专为ZNX系列设计，提供高精度模拟电压输出

应用领域

• 精密测量系统
• 纳米定位系统
• 半导体制造设备
• 光学测量仪器
• 真空环境测量
• 极端环境下的位移监测

选型指南/使用建议

建议根据具体测量范围和环境条件选择合适的传感器型号和材料配置。控制器CC-A-4101需与传感器配套使用，确保信号输出稳定。在真空、低温或强辐射环境中使用时，应确保系统密封性和材料兼容性。传感器安装时应避免机械振动和电磁干扰，以保证测量精度。

技术参数