产品概述
ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。通过适当的电子控制器测量板间距，实现最小至7皮米（RMS）的分辨率。标准产品提供20μm至1250μm的测量范围，频率响应高达5kHz，线性度低至0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。
核心特点/优势
- 量程20～1250μm；分辨率<0.1nm；线性最高0.02%
- 对位置的尺度变化非常敏感，精确测量到皮米级位移变化
- 可调谐以满足应用要求
- 高精度，线性度最高可至0.02%FS
- 高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移
- 适用于各种应用并适应各种环境挑战，可用于真空，极端低温，强辐射
应用领域
- 平台控制
- 显微镜
- 结构变形
- 振动控制
- 材料测试
- 精密工程
- 有源光学
- 精密光束转向
- 空间站机械臂
- 压电微位移
- 振动台
- 电子显微镜微调
- 天文望远镜镜片微调
- 精密微位移测量
选型指南/使用建议
推荐使用CC-A-4101控制器驱动ZNXSensor系列，适用于单通道独立操作。传感器间隙从标称间隙的50%变化到150%时，电压输出在-5V和+5V之间线性变化，比例可由用户设置。工作温度范围为+10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探头），适用于真空、极端低温、强辐射等环境。供电为±15V，75mA，模拟输出为±10V。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 通道数 | 1 |
| 分辨率(nm) | <0.1 |
| 噪声(nm rms Hz-1/2) | <0.001～<0.188 |
| 尺寸(mm) | 218 x 77 x 34 |
| 工作温度(℃) | +10～+50（控制器）；-273～+80（探头） |
| 温漂(nm/K) | 1～230 |
| 供电电压(V) | ±15 |
| 线性度(%) | <0.02 |
| 频率响应(Hz) | 50/500/5000 |
| 控制器型号 | CC-A-4101 |
| 模拟输出(V) | ±10 |
| 灵敏度(μm/V) | 2～125 |
| 测量范围(μm) | 20～1250 |
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