产品概述
Omron ZS-XEQ系列工业移动感应器和位置传感器采用先进的2D CMOS激光图像传感技术，提供高精度、高稳定性和高灵敏度的位移测量解决方案。适用于多种工业场景，包括透明物体厚度测量、喷嘴间隙测量、半导体晶圆检测、汽车车身宽度测量等。
核心特点/优势
- 采用2D CMOS激光图像传感技术，实现高分辨率和高线性度测量
- 支持多种测量距离，从0.25 μm高分辨率模型到1500 mm长距离模型
- 数字传感技术确保测量结果完全可靠，不受材料反射系数影响
- 支持透明物体、半导体晶圆、玻璃等高精度测量
- 具备超高速采样能力（110 μs），适用于动态测量场景
- 三点固定结构确保传感器头稳定性
- 支持多种光束形状选择，适应不同测量需求
- 激光等级为Class 2，符合工业安全标准
应用领域
- 汽车制造：车身宽度测量、喷嘴间隙测量
- 半导体制造：晶圆厚度测量、薄膜厚度测量
- 精密电子检测：透明材料厚度测量、表面轮廓测量
- 工业自动化：机器人定位、自动检测系统
- 激光加工：加工精度控制、表面质量检测
- 质量控制：高精度位移测量、尺寸检测
选型指南/使用建议
根据测量距离、分辨率、线性度和光束形状选择合适的型号。建议在安装时采用三点固定结构以确保测量稳定性。适用于多种材料表面，包括透明物体、金属、非金属等。工作环境应避免强光干扰，确保激光测量精度。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| RoHS | Y |
| 适用材料 | 透明物体, 半导体晶圆, 玻璃, 塑料, PCB, 金属, 非金属 |
| 安装方式 | 三点固定结构 |
| 测量方式 | 数字传感, 2D CMOS激光图像传感 |
| 采样速度 | 110 μs |
| 线性度 | ±0.05%F.S., ±0.1%F.S., ±0.2%F.S., ±0.07%F.S. |
| 分辨率 | 0.25 μm, 0.6 μm, 1 μm, 8 μm, 500 μm |
| 光束形状 | 20 μm × 1 mm, 45 μm × 2.2 mm, 30 μm × 1 mm, 0.3 mm × 16 mm, 60 μm × 3.5 mm, 1.5 mm × 40 mm, 25 × 900 μm |
| 工作模式 | 固定测量, 移动测量, 长距离测量, 短距离测量, 中距离测量 |
| 商标 | Omron Automation and Safety |
| 激光等级 | Class 2 |
| 子类别 | Sensors |
| 说明 | 工业移动感应器和位置传感器 ZS-H Digital Equalizer |
| 产品类型 | Motion & Position Sensors |
| 工厂包装数量 | 1 |
| 测量中心距离 | 20±1 mm, 25±2 mm, 50±5 mm, 600±350 mm, 100±20 mm, 1500±500 mm, 10±0.5 mm, 15±0.75 mm |
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