IDT FS1012和FS2012流量传感器使用热传递（测热式）原理来测量气体或液体流速。该流量传感器采用了一系列具有出色信噪比的MEMS热电偶。得益于有源MEMS传感元件以及碳化硅薄膜涂层的牢靠热隔离效果，该器件实现了极佳的耐磨性和长期可靠性。IDT提供未校准的毫伏输出型号 (FS1012) 以及完全校准和线性化的FS2012，可实现低至测量读数2%的典型精度。IDT流量传感器非常适合用于工业过程、保健与医疗以及汽车市场。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 传感器类型 | Gas |
| 类型 | MEMS Mass Flow Sensor |
| 电源电压-最小 | 3 V |
| 端口大小 | 5.9 mm |
| 封装 | Tray |
| 商标 | IDT |
| 系列 | FS1012 |
| 工作电源电压 | 3 V to 5 V |
| 子类别 | Sensors |
| 外壳材料 | Silicon |
| 工厂包装数量 | 10 |
| 产品类型 | Flow Sensors |
| 范围 | 0 SLPM to 2 SLPM |
| 最小工作温度 | 0 C |
| 电源电压-最大 | 5 V |
| 最大工作温度 | + 85 C |
| 寿命周期 | 新产品: 此制造商的新产品。 |
| 输出电压 | 35 mV |
| 压力端口 | No Port |
| 说明 | 流量传感器 Thermal Mass Flow Snsr, Non-corrosive Gas, 0 to 2 SLPM |
| 输出类型 | Analog |
