IMS5600-DS 干涉仪

品牌 Micro-Epsilon 米铱

分类 干涉仪

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技术参数

规格项参数值
准许证/证书/检验标志CE, UKCA
分辨率0.03 nm
工作温度范围5 到 70 °C
接口模拟控制、数字接口、计算机接口
测量方法位移/位置 距离
光色/光源类型白光
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