技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量体材料 | 外壳 1.4301 / 传感器 FR4 |
| 外壳宽度 | 200 mm |
| 电气连接 | 可插式，带插座的电缆 |
| 许可证/证书/检验标志 | CE, UKCA |
| 外壳长度 | 0.9 mm |
| 外壳高度 | 15 mm |
| 更多的功能/选项 | 长达4米的低废气电缆，适用于洁净室应用 长达4.2米的低脱气电缆，适用于洁净室、UHV和EUV应用 坚固的电缆，长度可达8米，用于工业应用 |
| 有效测量区直径 | 值+单位 34.3 mm |
| 模拟信号输出 | 4 … 20 mA |
| 设计 | 板式传感器，平面 |
| 动态分辨率 | 90 nm |
| 静态分辨率 | 4 nm |
| 有效距离 | 0.5 mm |
