技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 静态分辨率 | 2.25 nm |
| 有效测量区直径 | 值+单位 10 mm |
| 接口 | 以太网 EtherCAT |
| 测量体材料 | 1.4104 (Magn.) |
| 许可证/证书/检验标志 | CE, UKCA |
| 动态分辨率 | 60 nm |
| 有效距离 | 3 mm |
| 更多的功能/选项 | 长达4米的低废气电缆，适用于洁净室应用 长达4.2米的低脱气电缆，适用于洁净室、UHV和EUV应用 坚固的电缆，长度可达8米，用于工业应用 |
| 模拟信号输出 | 0 ... 10 V 4 … 20 mA 0 … 20 mA |
| 电气连接 | 电缆集成 |
| 设计 | 平面扫描摄像机 |
