产品概述

英国真尚有ZNX 超精密电容式位移传感器是一种基于电容式微测原理的非接触式位置测量系统。该传感器由两块平行板构成电容器，通过测量板间距离变化实现高精度位移测量。其分辨率可达7皮米（有效值），测量范围从20μm至1250μm，频率响应高达5kHz，线性度精确至0.02%。传感器采用高热稳定结构，支持多种材料选择，包括超硬钢、微晶玻璃和陶瓷，以最大限度减少位置漂移。配套控制器CC-A-4101可输出与传感器间隙成比例的模拟电压，适用于需要纳米级定位精度的系统升级。

核心特点/优势

• 分辨率高达7皮米（有效值），小于0.1nm，实现超精密测量
• 线性度达0.02%，确保测量高精度
• 支持真空、低温、强辐射等极端环境下的稳定工作
• 采用高热稳定结构，材料包括超硬钢、微晶玻璃和陶瓷，减少位置漂移
• 非接触式测量，避免机械磨损，提高系统寿命
• 控制器输出-5V至+5V模拟电压，用户可设置比例，适应多种系统集成

应用领域

• 精密测量系统
• 纳米定位系统
• 半导体制造设备
• 真空环境测量
• 低温实验设备
• 强辐射环境检测

选型指南/使用建议

建议根据具体测量范围和环境条件选择合适的传感器型号。控制器CC-A-4101需与传感器匹配使用，确保信号输出稳定。在真空、低温或强辐射环境中，应优先选择高热稳定性材料版本。使用时需注意传感器与目标之间的平行度和清洁度，以保证测量精度。

技术参数