产品概述
霍尼韦尔 HAF 系列气体流量传感器是一种基于热传递原理的高精度质量流量传感器,适用于测量空气和其他无腐蚀性气体的流量。该系列传感器采用微机电系统 (MEMS) 技术,结合专用集成电路 (ASIC) 进行全面校准和温度补偿,提供 I²C 数字输出,响应时间仅为 1 毫秒。传感器具有多种标准流量范围,包括 ±50 SCCM、±100 SCCM、±200 SCCM、±400 SCCM、±750 SCCM,以及 0-10 SLPM、0-15 SLPM、0-20 SLPM、0-50 SLPM、0-100 SLPM、0-200 SLPM、0-300 SLPM,也可根据客户需求进行定制。
核心特点/优势
- 高精度测量:行业最小的总误差带 (TEB),快速响应时间,提供精确的流量测量。
- 快速响应时间 (1 ms):适用于对流量变化响应要求高的关键应用,如医疗麻醉和工业通风。
- 高稳定性:减少因热效应和零点漂移引起的误差,提供长期准确读数。
- 高灵敏度:在低流量下也能快速响应,提高系统控制精度。
- 12 位分辨率:增强对小流量变化的感知能力。
- 宽流量范围:覆盖 0-300 SLPM,满足多种应用需求。
- 多种接口选择:提供多种端口样式,如流体连接器、螺纹接口等,便于集成。
- 数字 I²C 输出:简化与微控制器的集成,减少 PCB 复杂度。
- 宽供电电压范围 (3 Vdc 至 10 Vdc):提供灵活的电源设计。
- 符合 RoHS 标准:环保材料,符合 2002/95/EC 指令。
应用领域
- 医疗:麻醉机、呼吸机、心室辅助设备、肺功能测试仪、腹腔镜。
- 工业:分析仪器(质谱仪、色谱仪)、空燃比控制、燃料电池、通风柜、气体泄漏检测、过程控制气体监测、真空泵监测。
- 消费类:适用于需要精确气体流量控制的消费类设备。
选型指南/使用建议
选择 HAF 系列气体流量传感器时,应根据具体应用需求选择合适的流量范围、端口样式和供电电压。建议在设计阶段考虑以下事项:
- 避免用于液体流量测量,以免造成传感器损坏。
- 确保工作温度在 -20°C 至 70°C 范围内。
- 使用 I²C 接口时,注意 SCL 和 SDA 的上拉电阻应大于 3.0 kΩ,以限制最大电流为 2 mA。
- 在系统启动后等待 35 ms 再进行首次读取,以确保传感器稳定。
- 支持多种流量范围和端口样式,可根据客户具体需求进行定制。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 输出接口 | I²C 数字输出 |
| 最大工作压力 | 4 bar (60 psia) |
| 供电电压范围 | 3 Vdc 至 10 Vdc |
| 校准温度范围 | 0°C 至 50°C |
| 工作温度范围 | -20°C 至 70°C |
| 最大流量 | 350 SLPM |
| 测量形式 | 质量流量 |
| 认证标准 | ISO 9001 |
| 测量对象 | 空气和其他无腐蚀性气体 |
| 工作模式 | 热传递原理 |
| 总误差带 (TEB) | 0%FS 至 12.5%FS: 0.5%FS; 12.5%FS 至 100%FS: 4.0% 读数; 300 SLPM: 66.7%FS 至 100%FS: 7.0% 读数 |
| 响应时间 | 1 ms |
| 接口标准 | I²C 快速模式 (最高 400 kHz) |
| 分辨率 | 0.002 SLPM (10 SLPM), 0.003 SLPM (15 SLPM), 0.003 SLPM (20 SLPM), 0.008 SLPM (50 SLPM), 0.015 SLPM (100 SLPM), 0.029 SLPM (300 SLPM) |
| 外壳材料 | 坚固外壳 |
| 标准流量范围 | ±50 SCCM, ±100 SCCM, ±200 SCCM, ±400 SCCM, ±750 SCCM, 0-10 SLPM, 0-15 SLPM, 0-20 SLPM, 0-50 SLPM, 0-100 SLPM, 0-200 SLPM, 0-300 SLPM |
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