产品概述
普赛斯PMST-8000V功率器件测试系统是一款专为功率器件静态参数测试设计的高精度、高电压、大电流测试设备。该系统适用于多种封装类型的功率器件，包括MOSFET、IGBT、BJT以及第三代半导体材料如SiC和GaN等。系统具备μΩ级导通电阻测量、nA级漏电流检测能力，支持高压模式下结电容测试，可生成I-V和C-V特性曲线。系统采用模块化设计，便于扩展和升级，可与探针台、高低温箱等设备配合使用，满足晶圆级测试和高低温测试需求。
核心特点/优势
- 支持高达3500V电压测试，最大扩展至10kV
- 支持高达6000A大电流测试，典型上升时间15μs
- 测试精度达0.1%，支持μΩ级导通电阻和nA级漏电流测量
- 内置多种电压、电流、电容测量模块，支持模块化扩展
- 支持I-V和C-V特性曲线扫描，测试数据可导出
- 支持晶圆级测试，兼容探针台和高低温测试环境
- 提供丰富的测试模板，支持一键配置和测试
应用领域
- 功率器件静态参数测试
- 半导体器件性能分析
- 晶圆级芯片测试
- 高低温环境下的器件性能评估
选型指南/使用建议
系统支持多种测试模块配置，用户可根据测试需求选择不同模块组合。建议搭配探针台进行晶圆级测试，或与高低温箱配合使用以满足不同温度条件下的测试需求。测试数据可导出为表格或图形，便于分析与存档。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 电容测试频率 | 1MHz |
| 测试曲线类型 | I-V特性曲线、C-V特性曲线 |
| 导通电阻测试精度 | μΩ级 |
| 支持测试项目 | Vces、V(br)ces、Vcesat、Ices、Iges、Vges、Vge(th)、Vf、I-V曲线、C-V曲线 |
| 最大测试电流 | 6000A |
| 栅极-发射极最大测试电流 | 10A |
| 电容测试类型 | 输入电容、输出电容、反向传输电容 |
| 测试精度 | 0.1% |
| 漏电流测试精度 | nA级 |
| 最大测试电压 | 3500V |
| 栅极-发射极最大测试电压 | 30V |
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