产品概述
在半导体材料和器件的研究中，电性能测试是必不可少的环节。随着半导体技术的提升，微电子工艺逐渐复杂，如何对微电子材料器件进行高效率测试成为业内关注的重点。普赛斯仪表陆续推出多型号国产化数字源表SMU，为进一步打通测试融合壁垒，打造闭环解决方案，通过对半导体高端测试装备上下游产业链的垂直整合，晶圆级微电子材料器件测试系统应运而生！普赛斯数字源表SMU是整个测试系统的核心部分，用户可以根据材料器件不同的电流、电压，配置不同规格参数的源表和探针台。
核心特点/优势
- 更高效：灵活测试，体积小巧，节省实验台空间，接线简单，无需繁杂的同步触发操作
- 更可靠：广泛应用，利用普赛斯这套国产化高精度数字源表+探针台的测试系统，可以完成任何晶圆、芯片、微小电子器件的测试
- 完整解决方案：涵盖直流源表、脉冲源表、窄脉冲源、大电流脉冲源、高电流源、高电压源、大功率激光器测试电源、插卡式源表、数据采集卡、脉冲恒压源等
应用领域
- 半导体材料电性能测试
- 微电子器件测试
- 晶圆级测试系统
选型指南/使用建议
用户可根据材料器件不同的电流、电压需求，配置不同规格参数的源表和探针台。建议在实验室或洁净环境中使用，以确保测试精度和设备稳定性。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测试功能 | 电流、电压测试 |
| 测试对象 | 晶圆、芯片、微小电子器件 |
| 测量模式 | 四探针、三同轴 |
| 系统组成 | 数字源表SMU + 探针台 |
| 设备类型 | 数字源表SMU |
| 适用场景 | 半导体材料与器件电性能测试 |
温馨提示
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