技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 重复精度 | ＜满量程的±0.001%，最小±1μm |
| 分辨率 | 1 µm |
| 输出 | 电压;电流 |
| 分辨力 | 16位D/A或者满量程的0.0015%（最小1μm） |
| 非线性度 | ＜满量程的±0.01%，最小±50μm |
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