技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 重复精度 | <满量程的±0.001%，最小±1μm |
| 输出 | 模拟量、SSI、CANopen |
| 分辨力 | 模拟量：16位D/A或满量程的0.0015%（最小1μm） 数字量： 1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 40 / 50 / 100 μm |
| 非线性度 | <满量程的±0.01%，最小±50μm |
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