产品概述
SPA-6100是武汉普赛斯自主研发的半导体参数分析仪，具备高精度、宽测量范围、快速灵活、兼容性强等优势。该设备支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试，适用于前沿材料研究、半导体芯片器件设计及先进工艺开发。
核心特点/优势
- 30μV-1200V电压、1pA-100A电流宽量程测试能力
- 全量程下测量精度高达0.03%
- 内置标准器件测试程序，支持自动实时参数提取、数据绘图与分析
- 支持CV和IV测量之间快速切换，无需重新布线
- 提供灵活的夹具定制方案，兼容性强
- 免费提供上位机软件及SCPI指令集
- 支持多频AC电容测量（10kHz-1MHz）
- 支持与高低温箱、温控模块等搭配使用，满足高低温测试需求
应用领域
- 纳米、柔性等材料特性分析
- 二极管
- MOSFET、BJT、晶体管、IGBT
- 第三代半导体材料/器件
- 有机OFET器件
- LED、OLED、光电器件
- 半导体电阻式等传感器
- EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管
- 电阻率系数和霍尔效应测量
- 太阳能电池
- 非易失性存储设备
- 失效分析
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 电容测量频率范围 | 10kHz-1MHz |
| 电流测量范围 | 1pA-100A |
| 最大输出电压 | 1200V |
| 最大输出电流 | 100A |
| 最小电流分辨率 | 1pA |
| 测量精度 | 0.03% |
| 电压测量范围 | 30μV-1200V |
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