Angst+Pfister 昂思菲特公司新的 PFLOW2001 流量传感器基于MEMS技术，并根据热原理进行测量。
测量范围 [SCCM]：0 to 10...5000 SCCM
输出信号：Linear, 0.5...4.5 VDC, I2C
精度 [± % FS] max.：1.5S
供电电压 [VDC]：2.7...15
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量类型 | 质量流量 |
| 气体体积流量范围 | 30...5000 sccm |
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Angst+Pfister 昂思菲特公司新的 PFLOW2001 流量传感器基于MEMS技术，并根据热原理进行测量。
测量范围 [SCCM]：0 to 10...5000 SCCM
输出信号：Linear, 0.5...4.5 VDC, I2C
精度 [± % FS] max.：1.5S
供电电压 [VDC]：2.7...15
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量类型 | 质量流量 |
| 气体体积流量范围 | 30...5000 sccm |
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