IGBT|SiC功率半导体器件测试设备

品牌 Precise Instrument 普赛斯仪表

分类 半导体测试设备

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产品概述

普赛斯仪表PMST-2200V功率器件静态参数测试系统,是一款专为IGBT、SiC、GaN等功率半导体器件设计的高精度测试设备。系统集成了多种测量单元模块,支持I-V、C-V特性曲线扫描,可精准测量导通电阻、漏电流、击穿电压、阈值电压等关键参数。系统具备高电压、大电流、高精度、模块化设计等优势,适用于晶圆级芯片测试、高低温测试等多种测试场景。

核心特点/优势

  • 支持高达3500V电压测试,最大扩展至10kV
  • 支持高达6000A大电流测试,典型上升时间为15μs
  • 具备μΩ级导通电阻、nA级漏电流测试能力
  • 内置多种测试模板,支持一键配置与测试
  • 模块化设计,支持灵活扩展与升级
  • 支持与探针台、高低温箱等设备联用
  • 支持图形界面与表格展示测试结果,数据可一键导出

应用领域

  • IGBT、MOSFET、BJT等功率器件静态参数测试
  • SiC、GaN等第三代半导体器件测试
  • 晶圆级芯片测试
  • 高低温环境下的器件性能测试
  • 半导体材料与器件生产全产业链测试

选型指南/使用建议

建议根据测试器件类型、电压电流需求、测试精度要求选择配置模块。系统支持与探针台、高低温箱等设备联用,建议在恒温、低干扰环境下使用。测试数据可导出为表格或曲线图,便于分析与存档。

技术参数

规格项参数值
温控范围25℃-200℃
栅极-发射极最大电压30V
电流准确度±0.05%
大电流上升沿典型值15μs
栅极-发射极最大电流10A(脉冲)
电容测试范围0.01pF~9.9999F
温控准确度±1℃
电容测试频率范围10Hz-1MHz
栅极-发射极最小电流分辨率10pA
电压准确度±0.1%
大电压上升沿典型值5ms
漏电流测试范围1nA-100mA
大电流脉宽50μs-500μs
最大电压3500V
最大电流6000A
温馨提示

若上述内容存在差异,请以产品手册为准。

如需获取样品、技术支持或完整规格书,请点击联系销售。

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