产品概述
Setra 730G002KAN12CD9A 是一款高精度电容式真空传感器，适用于低真空压力范围的测量。该产品采用全Inconel®接液材料，具备优异的耐腐蚀性能，适用于半导体、光伏及工业真空过程控制。其0-5VDC或0-10VDC模拟输出信号与所测压力成正比，不受工艺气体成分影响。
核心特点/优势
- 高精度：标准 ±0.5%FS，可选 ±0.25%FS
- 快速响应时间：小于20ms
- 低电路噪声，优异的长期稳定性
- 全Inconel®接液材料，耐腐蚀性强
- 宽工作温度补偿范围，环境适应性强
- 符合CE和RoHS规范
- 误接线全保护设计
应用领域
- 半导体行业
- PECVD/ALD工艺设备
- 等离子体刻蚀工艺设备
- 石化行业
- 等离子体灭菌器
- 真空包装
选型指南/使用建议
730系列采用模块化设计，用户可根据具体需求选择压力范围、输出信号、电气连接方式等。例如：730G010TA4T2BD9K 表示730型，10Torr压力范围，绝压，0.5”外径管接头，0-5VDC输出，9针D-Sub接头，±0.5%读数精度。
建议在工作温度0～+80℃范围内使用，避免极端温度影响测量精度。接液部分仅适用于与Inconel®相容的液体或气体。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 精度 | ±0.5%FS（标准），±0.25%FS（可选） |
| 功耗 | <200mW |
| 工作温度范围 | -20～+80℃ |
| 接液材料 | Inconel® |
| 输出阻抗 | <1Ω |
| 响应时间 | <20ms |
| 测量范围 | 见订购指南 |
| 输出信号 | 0-5VDC / 0-10VDC |
| 壳体材料 | 不锈钢 |
| 电气连接 | 9针D-Sub插座 |
| 认证 | CE, RoHS |
| 分辨率 | 无限，仅受输出噪声限制（≤0.005%FS） |
| 激励电压 | 12-30VDC |
| 存储温度范围 | -40～+125℃ |
| 腔体体积 | <6.2立方厘米 |
| 重量 | 约137克 |
| 长期稳定性 | ±0.5%FS/年 |
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