产品概述

SPA-6100半导体参数分析仪是武汉普赛斯自主研发、精益打造的一款半导体电学特性测试系统，具有高精度、宽测量范围、快速灵活、兼容性强等优势。产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试，旨在帮助加快前沿材料研究、半导体芯片器件设计以及先进工艺的开发，具有卓越的测量效率与可靠性。

基于模块化的体系结构设计，SPA-6100半导体参数分析仪可以帮助用户根据测试需要，灵活选配测量单元进行升级。产品支持最高1200V电压、100A大电流、1pA小电流分辨率的测量，同时检测10kHz至1MHz范围内的多频AC电容测量。SPA-6100半导体参数分析仪搭载普赛斯自主开发的专用半导体参数测试软件，支持交互式手动操作或结合探针台的自动操作，能够从测量设置、执行、结果分析到数据管理的整个过程，实现高效和可重复的器件表征。

核心特点/优势

• 30μV-1200V,1pA-100A宽量程测试能力
• 测量精度高，全量程下可达0.03%精度
• 内置标准器件测试程序，直接调用测试简便
• 自动实时参数提取，数据绘图、分析函数
• 在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线
• 提供灵活的夹具定制方案，兼容性强
• 免费提供上位机软件及SCPI指令集

应用领域

• 纳米、柔性等材料特性分析
• 二极管
• MOSFET、BJT、晶体管、IGBT
• 第三代半导体材料/器件
• 有机OFET器件
• LED、OLED、光电器件
• 半导体电阻式等传感器
• EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管
• 电阻率系数和霍尔效应测量
• 太阳能电池
• 非易失性存储设备
• 失效分析

技术参数