概述
   主要用于对红外传感器制冷机组件进行自动抽真空、充惰性气体。

特点

· 可同时生产18支产品

· 共设6路管路，每路可独立控制

· 可设置充气压力，充排循环次数，时间等

· 可设置不同工艺配方，一键切换

· 可实时读取真空度、压力、露点值并存储

· 压力范围：0~6MPa，压力控制精度：±0.01MPa

· 空载极限真空1Pa

应用领域
   应用于斯特林制冷机的自动充排气工艺，可推广用于真空元器件的微组装领域。