概述
   主要用于将设备站号信息、MAG信息、Tray盘信息及探测器信息等绑定后形成Log文件并上报客户指定数据库。

特点

· 设备动作节拍：10min/Mag

· 设备洁净度：百级

· 设备自动将站号信息、MAG信息、Tray盘信息及产品信息等绑定，形成Log文件

· 预留接口，可将数据及文件上报客户指定数据库，供用户检索与处理产品生产信息息

应用领域
   此产品及技术的可移植性高，应用领域广泛，可根据客户生产工艺定制开发。