HiCube Neo RGA 残留气体分析仪

品牌 Hakuto 伯东企业

分类 残留气体分析仪

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因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准

上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 配置可选

气体分析 PrismaPro: 3种质量量程, 探测器, 2种灯丝材料

分子泵组 HiCube: 隔膜泵 MVP 015-2 DC 或 MVP 030-3 DC, 扩展套件

数字真空计:MPT 200 AR 或 HPT 200 AR

腔室:筒式加热器+绝缘

进气阀: 取决于应用

质量数(量程)1-100, 1-200, 1-300 u
入口Evn 116 或闸阀或全金属阀
人机交互7英寸触摸显示器
总压力测量数字真空计 MPT 200 AR 或 HPT 200 AR
检测限3…5E-15 hPa
尺寸583 x 446 x 434 mm
重量22-27 kg 根据配置


四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube Neo 涡轮分子泵组的搭配

涡轮分子泵组HiCube™ 80 NeoHiCube™ 80 Neo
分子泵SplitFlow ® 80SplitFlow ® 80
隔膜泵MVP 015-2 DCMVP 030-3 DC
电压(范围)110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮气抽速67 l/s
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度1 m3/h1.8 m3/h
极限真空<1X10-7 hPa
真空计MPT 200 AR 或 HPT 200 AR
阀门EVN 116 或闸阀或全金属阀

PrismaProQMG 250 F1QMG 250 F2QMG 250 F3QMG 250 M1QMG 250 M2QMG 250 M3
检测器法拉第 Faraday (F)电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu1–1001–2001–3001–1001–2001–300
四极杆直径/长度6 /125 mm
最小检测极限 F hPa *1,24X10-135X10-137X10-13---
最小检测极限 M hPa *1,2---3X10-154X10-155X10-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*35X10-44X10-43X10-45X10-44X10-43X10-4
最大工作压力 F hPa5X10-4
最大工作压力 M hPa---5X10-55X10-55X10-5
对临近质量数的影响*1< 10 ppm< 20 ppm< 50 ppm< 10 ppm< 20 ppm< 50 ppm
操作温度 分析200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度 电子5 – 50 °C
烘烤温度 分析300 °C
连接法兰DN 40 CF-F
保压时间1 ms – 16 s/amu
峰比值可重复性± 0.5 %
接口以太网
电源电压100–240 V AC,50/60 Hz
HiCube™ RGA重量25.5 - 26.2 kg

与 HiCube RGA 比较设计更紧凑金属密封配有7英寸触摸屏 和 PV MassSpec 软件通过数字真空计监测总压力, 保护灯丝大量的定制选项Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 应用场景

研发冷冻干燥 / 冻干真空炉镀膜


若您需要进一步的了解 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro

详细信息或讨论, 请联络

上海伯东:叶小姐    13918837267                


技术参数

规格项参数值
质量分析仪技术四极
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