因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 配置可选
气体分析 PrismaPro: 3种质量量程, 探测器, 2种灯丝材料
分子泵组 HiCube: 隔膜泵 MVP 015-2 DC 或 MVP 030-3 DC, 扩展套件
数字真空计:MPT 200 AR 或 HPT 200 AR
腔室:筒式加热器+绝缘
进气阀: 取决于应用
质量数(量程) | 1-100, 1-200, 1-300 u |
入口 | Evn 116 或闸阀或全金属阀 |
人机交互 | 7英寸触摸显示器 |
总压力测量 | 数字真空计 MPT 200 AR 或 HPT 200 AR |
检测限 | 3…5E-15 hPa |
尺寸 | 583 x 446 x 434 mm |
重量 | 22-27 kg 根据配置 |
四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube Neo 涡轮分子泵组的搭配
涡轮分子泵组 | HiCube™ 80 Neo | HiCube™ 80 Neo |
分子泵 | SplitFlow ® 80 | SplitFlow ® 80 |
隔膜泵 | MVP 015-2 DC | MVP 030-3 DC |
电压(范围) | 110 - 240 V; 50 / 60 Hz | |
氮气抽速 | 67 l/s | |
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度 | 1 m3/h | 1.8 m3/h |
极限真空 | <1X10-7 hPa | |
真空计 | MPT 200 AR 或 HPT 200 AR | |
阀门 | EVN 116 或闸阀或全金属阀 |
PrismaPro | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 |
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||
质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 |
四极杆直径/长度 | 6 /125 mm | |||||
最小检测极限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - |
最小检测极限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 |
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 |
最大工作压力 F hPa | 5X10-4 | |||||
最大工作压力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 |
对临近质量数的影响*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm |
操作温度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | |||||
操作温度 电子 | 5 – 50 °C | |||||
烘烤温度 分析 | 300 °C | |||||
连接法兰 | DN 40 CF-F | |||||
保压时间 | 1 ms – 16 s/amu | |||||
峰比值可重复性 | ± 0.5 % | |||||
接口 | 以太网 | |||||
电源电压 | 100–240 V AC,50/60 Hz | |||||
HiCube™ RGA重量 | 25.5 - 26.2 kg |
与 HiCube RGA 比较设计更紧凑金属密封配有7英寸触摸屏 和 PV MassSpec 软件通过数字真空计监测总压力, 保护灯丝大量的定制选项Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 应用场景
研发冷冻干燥 / 冻干真空炉镀膜
若您需要进一步的了解 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro
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上海伯东:叶小姐 13918837267
技术参数
规格项 | 参数值 |
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质量分析仪技术 | 四极 |