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ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器
上海伯东代理德国 ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器是一种基于旋转转子压力表技术的新型过程压力计. 与其他真空测量（热阴极或冷阴极, 电容式压力传感器）相比, Dositorr SRG 旋转转子压力表精度高, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）. 简单的几何形状和不锈钢旋转球, 通过电磁力平滑移动, 适用于各种高纯度气体工艺.
ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器优势
自主: 物理测量方式, 不需要电离等过程
高精度测量
长期稳定
超清洁坚固, 耐腐蚀
高真空测量
Dositorr SRG 高真空传感器技术规格
| 测量原理 | 旋转转子压力表 |
| 测量范围 | 7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
| 精度 | 7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %;0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1 % |
| 长期稳定性 | < 每年 1 % 的漂移 |
| 接液材料管/球 | 不锈钢 |
| 安装方式 | 水平 |
| 模拟接口 | USB Type C, 蓝牙, 15pin |
| 数字接口 | USB, 蓝牙, RS 232, RS 485 |
| 反应时间（快速模式） | 1 秒 |
上海伯东德国 ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器适用于工艺中的连续, 自动, 高真空测量, 并提供多种灵活的解决方案.
DosiTorr: 传感器, 测量头和电子设备集成在一个紧凑的单元中
CaliTorr: 电子测量头可以与真空规分离用于烘烤
DosiTorr 扩展: 测量头和电子设备分离, 便于在空间受限的设备中安装
DosiTorr 配置: 设计用于 1:1 离子规更换配置电接口(即插即用解决方案)
Dositorr SRG 高真空传感器应用
替代离子规: 传统电离式的真空规无法使用的情况
离子注入, 干法刻蚀
在线真空监测液
氮, 液氦高纯气体存储
了解详情: 上海伯东: 叶女士 13918837267
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 类型 | 其它 |
