在现代科技快速发展的背景下,芯片制造业对精度的要求日益提高,尤其是在芯片形貌测量方面,精确度和可靠性成为关键。芯片形貌测量不仅关系到芯片的性能和功能,还直接影响到产品的良率和生产效率,因此,在整个芯片制造过程中,进行高效、准确的形貌检测显得尤为重要。
目前,市场上针对芯片形貌测量的方案主要有传统的接触式测量和现代的光学测量。接触式测量虽然可以提供较高的精度,但由于其物理接触的特性,常常可能对样品造成损伤,并且测量效率较低。光学测量技术如激光测量和共焦显微镜虽然在测量速度和无损特性上具有优势,但在分辨率和适用性方面却存在局限性,因此现有的检测方案在精度、速度和适应性上各有优缺点,无法全面满足高精度芯片制造的需求。
针对这些挑战,英国真尚有推出的EVCD系列高精度位移传感器为芯片形貌测量提供了全新的解决方案。该系列传感器采用先进的光谱共焦原理,能够在微米级甚至纳米级的精度要求下进行快速而高效的测量,其最高可达33,000Hz的采样频率和1nm的分辨率,轻松应对芯片制造过程中对形貌检测的严苛要求,在线性精度上也表现出色,某些型号如Z27-29的精度甚至可达±0.01μm,远超市场上同类产品。
与传统的光学测量设备相比,英国真尚有的EVCD系列光谱共焦位移传感器产品具有明显优势,其多材质适应性使得它能够稳定测量金属、陶瓷、玻璃等多种材料,适用范围更为广泛,支持复杂形状的测量,能够对弧面、深孔和斜面等进行精确检测,最大可测倾角高达87°,这在芯片制造中尤为重要。同时,EVCD系列共焦传感器和紧凑尺寸,使其在狭小空间内的应用更加灵活便捷。
总之,英国真尚有的EVCD系列光谱共焦测位移传感器凭借卓越的测量性能和设计优势,成为高精度芯片形貌测量领域的理想选择。随着科技的不断进步,英国真尚有的这一系列产品将为芯片制造行业提供更加高效、可靠的测量解决方案,为实现更高的生产效率和产品质量奠定坚实基础。针对特殊应用,市场上绝大多数品牌不支持定制或者无法小批量定制,有些即使能定制但费用高昂,而英国真尚有持续提供小批量、低成本定制传感器或方案,既满足了项目的特殊要求,又兼顾了低成本,直接促成了多个项目的成功。
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