产品概述
Angst+Pfister 昂思菲特 PFLOW-ELEMENT 热式流量传感器基于热力学原理，采用MEMS热电堆和加热器结构，适用于气体和液体流量测量。该传感器通过热电堆检测加热元件上下游的温度梯度，从而实现对介质质量流量的高精度测量。产品提供定制化封装选项，适用于多种工业和医疗应用场景。
核心特点/优势
- 无偏移和偏移漂移，热电堆直接输出电压信号，无需偏置
- 高灵敏度：每个热电堆由20个热电偶串联组成
- 优异的抗电源噪声能力
- 独特的热隔离设计，无需薄膜或表面腔体，可承受压力冲击
- 可选陶瓷薄膜保护，适用于腐蚀性气体/液体和磨损环境
- 支持液体流量测量
- 兼容性强，接触材料包括碳化硅、环氧树脂、PPS、FR4和硅胶密封
应用领域
- 医疗呼吸机和通风设备
- HVAC（暖通空调）系统
- 工业过程控制
选型指南/使用建议
该传感器以裸芯片形式（COB）提供，支持定制化薄膜陶瓷基板。建议根据具体应用需求选择合适的供电电压、输出信号和测量范围。产品适用于-20°C至105°C的工作温度范围，存储温度范围为-40°C至125°C。在腐蚀性或磨损环境中，建议使用陶瓷薄膜保护层。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 供电电压 | 定制 |
| 参考电阻温度系数 (TCR) | -578 ppm/°C |
| 最大精度 | ±%FS（定制） |
| 存储温度范围 | -40~125 °C |
| 湿度范围 | 0...100% RH，抗冷凝水 |
| 工作温度范围 | -20~105 °C |
| 过压能力 | 15 bar |
| 输出信号 | 定制 |
| 响应时间 | <10 ms |
| 测量范围 | 定制 |
| 加热电阻 | 2.8~3.25 Ω |
| 接触材料 | 碳化硅、环氧树脂、PPS、FR4、硅胶密封 |
| 加热电流 | 6.5 mA |
| 零点漂移 | 0.2 %FS/年 |
| 热电堆电阻 @25°C | 60~65 kΩ |
| 参考电阻 | 7209~7722 Ω |
| 下游热电堆输出 @25°C, 空气 | 157~177 mV |
| 上游热电堆输出 @25°C, 空气 | 157~177 mV |
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