在现代微电子和半导体制造过程中,芯片键合的质量直接影响最终产品的性能与可靠性。特别是在芯片键合的过程中,倾斜和翘曲的测量显得尤为重要。这些问题不仅可能导致芯片的电气性能下降,还可能引发严重的故障,因此,对芯片在键合过程中的位置和形状进行精确测量成为实现高质量产品的关键环节。
在芯片键合的检测过程中,通常需要对多个参数进行细致的监测,包括芯片的倾斜度和翘曲度等。这些测量不仅要求高精度,还需要实时反馈,以便及时调整生产工艺。然而,传统的检测方案存在一定的局限性,许多现有的检测手段,例如机械测量和光学检查,往往难以满足快速和高精度的需求。机械测量虽然简单易用,但由于接触式测量可能导致损坏,同时采样频率低,无法适应高效生产的要求。而光学测量虽然能提供不错的视觉反馈,但在精确的尺寸测量和复杂形状的适应性上仍显不足。
在众多检测方案中,英国真尚有的EVCD系列光谱共焦测位移传感器脱颖而出,成为高精度倾斜和翘曲测量的理想选择。该系列传感器具有非接触式测量的优势,不仅能够有效避免对被测物体的损伤,还能实现极高的测量精度。EVCD系列共焦传感器的采样频率最高可达33,000Hz,分辨率高达1nm,确保对芯片在键合过程中的微小变化的实时捕捉,其线性精度可达到±0.01%F.S.,特定型号Z27-29的精度甚至能达到±0.01μm,极大地提高了测量的可靠性。
此外,EVCD系列高精度位移传感器还具备宽广的量程范围,能够根据不同型号选用,从±55μm至±5000μm不等,适应各种不同的测量需求。其最大可测倾角可达±20°,特殊设计型号如LHP4-Fc甚至可达±45°,为复杂的测量环境提供了灵活的解决方案。相较于其他同类产品,英国真尚有的EVCD系列共焦位移传感器在多材质适应性和复杂形状测量能力方面也表现不俗,能够稳定测量金属、陶瓷、玻璃等多种材质,并能处理弧面和深孔等复杂形状的测量任务。
综上所述,英国真尚有的EVCD系列光谱共焦位移传感器凭借其卓越的性能和强大的适应能力,为芯片键合过程中的倾斜和翘曲测量提供了高效、可靠的解决方案。随着微电子技术的不断发展,EVCD系列光谱共焦测位移传感器必将成为推动行业进步的重要助力,帮助企业在激烈的市场竞争中脱颖而出。针对特殊应用,市场上绝大多数品牌不支持定制或者无法小批量定制,有些即使能定制但费用高昂,而英国真尚有持续提供小批量、低成本定制传感器或方案,既满足了项目的特殊要求,又兼顾了低成本,直接促成了多个项目的成功。
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