MEMS加速度传感器
西安环测自动化技术有限公司供应 310M/320M/330M系列MEMS加速度传感器，采用变电容原理，当敏感元件受到加速度作用产生偏移，引起电容成比例变化；该传感器MEMS敏感元件具有良好的低频和直流响应特性，体积小、重量轻、全密封、壳体可靠隔离，特别适合于分析低频振动或线加速度运动。
可提供±2g到±200g各量程MEMS传感器；输出方式、量程及频响范围有要求请联系我们。
技术参数
| 型号 | 310M02 | 310M02J320M02J330M02J | 310M05320M05330M05 | 310M05J320M05J330M05J | 310M10J320M10J330M10J | 310M20320M20330M20 | 310M50J320M50J330M50J | 310M12J320M12J330M12J | 310M22J320M22J330M22J |
| 灵敏度（mV/g） | 1000 | 1000 | 300 | 300 | 200 | 100 | 40 | 20 | 10 |
| 量程（g pk） | ±2 | ±2 | ±5 | ±5 | ±10 | ±20 | ±50 | ±100 | ±200 |
| 频响 (±5%)(Hz) | 0～200 | 0～150 | 0～200 | 0～150 | 0～400 | 0～300 | 0～800 | 0～800 | 0～1000 |
| 分辨力（mg rms） | 2 | 0.1 | 3 | 0.3 | 0.8 | 6 | 2.5 | 5 | 10 |
| 型号 | 310M 系列 单轴 | 320M 系列 双轴 | 330M 系列 三轴 | |||
| 通用型 | 精密型（后缀J） | 通用型 | 精密型（后缀J） | 通用型 | 精密型（后缀J） | |
| 输出方式 | 单端 | 单端 | 单端 | |||
| 过载冲击 | ±3.000g | ±5,000g | ±3.000g | ±5,000g | ±3.000g | ±5,000g |
| 激励电压 | +9～+15VDC | +9～+15VDC | +9～+15VDC | |||
| 温度范围 | -40～+85℃ | -40～+85℃ | -40～+85℃ | |||
| 输出接头 | 整体线缆3m（4芯） | 整体线缆3m（5芯） | 整体线缆3m（5芯） | |||
| 外壳材料 | 钛合金 | 钛合金 | 钛合金 | |||
| 密封 | 焊接 | 焊接 | 焊接 | |||
| 重量 | 17克 | 20克 | 25克（不含电缆） | |||
| 尺寸（mm） | 21.5×21.5×10.5 | 24×24×15 | 28×28×20 | |||
| 安装方式 | 2-Φ3（通孔） | 2-Φ3（通孔） | ||||
