一、产品概述
CY-YZ-GX/DX/AX -130系列硅压阻式表压/差压/绝压高稳型压力敏感芯片,是采用用硅平面和MEMS
工艺设计制作的,以硅感压膜片上具有压阻效应的四个电阻组成的惠斯通电桥,输出与所受压力成线
性关系的电压信号,以实现对压力信号的测量;芯片以硅 SDB 单晶为感压膜片,氧化物介质电隔离,
硅铝为表面引出电极,应力匹配玻璃隔离衬片,具有优良的表面态和时漂特性。
二、产品应用
可广泛应用于航空、航天、舰船、兵器和电子、汽车等工业;食品、医疗等商用和民用产品等领域,
对压力参数进行快速、准确、可靠的测量。
三、产品主要参数
技术参数
规格项 | 参数值 |
---|---|
压力类型 | 绝压;表压;液压;密封压;真空压;复合压 |
测量介质 | 气体;液体 |
最大压力 | 60MPa |
工作压力量程 | 0.01-60MPa |
测量技术 | MEMS;压阻式 |