产品概述
Chao Yang 朝阳微 CY-YZ-330 压力传感器是一款基于硅MEMS工艺的高精度压力敏感器件，采用全316L不锈钢固态密闭封装，核心为SDB硅压力敏感芯片。该芯片通过离子注入、光刻、氧化扩散、溅射、键合、腐蚀、微机械加工等工艺，在硅膜片上制备了具有压阻效应的惠斯通电桥。测量时，隔离金属波纹膜片和腔体内封装的液体将测量压力同步传递给压力敏感芯片，使其感压膜片产生变形，从而实现压力与输出信号的线性转换。
核心特点/优势
- 采用SDB硅压力敏感芯片，具备高稳定性与高精度
- 全316L不锈钢固态密闭封装，适用于恶劣环境
- 支持表压、绝压、差压等多种压力类型测量
- 工作温度范围宽，可达-55℃~+175℃
- 具备高灵敏度、低迟滞、高重复性，综合准确度可达±0.04%FS
- 长期稳定性好，时漂可低至±0.1%/年
- 支持多种外形尺寸（Φ19、Φ16、Φ13）及定制化需求
应用领域
- 工业过程控制
- 压力检测及过程控制
- 制冷设备和空调系统
- 液位测量
- 压力校准仪器
- 航空航海检测
- 气体、液体压力测量
- 液压系统及开关
- 压力传感器（变送器）
选型指南/使用建议
推荐选型格式：CY-YZ-GT-330U-600KPa（601）-Z-V，其中：
- 产品系列：CY-朝阳微电子，YZ-压阻原理，GT-表压敏感器件（芯体），330U-系列高稳无补偿型
- 基准量程：100kPa、200kPa、300kPa、400kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、4MPa、6MPa
- 准确度：Z-0.1%FS、Z-0.2%FS、Z3-0.25%FS、Z4-0.3%FS
- 电激励模式：V1-恒压5V、V2-恒压10V、I1-恒流1mA、I2-恒流1.5mA
安装建议：推荐采用悬浮式结构，避免临近膜片端面压紧密封，影响稳定性；保护金属隔离膜片，以免碰伤导致性能变差；保证表压敏感器件导气管或导气孔畅通无异物堵塞。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量介质 | 气体;液体 |
| 激励电源 | 额定5VDC/1mADC；最大10VDC/1.5mADC |
| 热灵敏度漂移 | ±0.02%FS/℃（±0.05%FS/℃:量程≤40kPa） |
| 响应时间 | <0.1ms |
| 过载压力 | 1.5倍~3倍额定量程 |
| 长期稳定性 | ±0.1%FS/年 |
| 补偿温度范围 | -55℃~+150℃ |
| 迟滞 | ±0.05%FS |
| 重复性 | ≤0.05%FS |
| 零点漂移 | ±0.05%FS/8h |
| 热零点漂移 | ±0.02%FS/℃（±0.05%FS/℃:量程≤40kPa） |
| 工作压力量程 | 0.1-60MPa |
| 工作温度范围 | -55℃~+175℃ |
| 输入阻抗 | 2kΩ~7kΩ |
| 零点输出 | ±1mV |
| 供电电源 | 额定供电5VDC或1mADC，最大10VDC或1.5mADC |
| 最大压力 | 60 MPa |
| 绝缘电阻 | >100MΩ/100VDC |
| 产品类型 | 传感元件;传感器 (Transducer) |
| 满量程输出 | ≥55mV（≥40mV:量程≤40kPa） |
| 输出阻抗 | 2kΩ~7kΩ |
| 测量技术 | MEMS;半导体压阻 |
| 准确度 | ±0.1%FS（±0.3%FS:量程≤40kPa或≥40MPa） |
| 压力类型 | 绝压;差压;表压;复合压;密封压;相对压;真空压 |
| 外形尺寸 | Φ19、Φ16、Φ13 |
| 非线性 | ±0.1%FS（±0.3%FS:量程≤40kPa或≥40MPa） |
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